SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将(jiāng)参展2025 SEMI-e 中(zhōng)国（深圳）国际半导体展览会(zhǎnlǎnhuì)，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程优化(yōuhuà)新路径。 172nm MINI实验模组 新品(xīnpǐn)首发 本次展会，广明源将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量(xiǎopīliàng)试产环节(huánjié)设计，具备(jùbèi)结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配(shìpèi)多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外黑(hēi)科技 可高效(gāoxiào)分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案(fāngàn)。 极简结构(jiégòu)，桌面级准分子实验新体验 由于传统准分子(zhǔnfènzǐ)光辐照器因(qìyīn)高纯度 N₂填充结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化(qīngliànghuà)设计，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究(yánjiū)机构轻松(qīngsōng)搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发(yánfā)需求。 封装工艺(gōngyì)表面清洁处理 超净化超微细清洗工艺验证(yànzhèng) 172nm 系列(xìliè)全线亮相共襄盛会 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品(chǎnpǐn)，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面(biǎomiàn)活化(huóhuà)、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列光源(guāngyuán) 172nm准分子系列(xìliè)模组及设备 SEMI-e 2025 ，诚邀莅临(lìlín) 欢迎半导体制造企业、设备(shèbèi)厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流(jiāoliú)，现场(xiànchǎng)了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳(shēnzhèn)）国际半导体展览会 时间：2025年6月(yuè)4-6日 地点(dìdiǎn)：深圳国际会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更(gèng)多信息资讯，所涉内容(nèiróng)不构成投资、消费建议。对文章事实有疑问，请与有关方核实或与本网联系。文章观点(guāndiǎn)非本网观点，仅供读者参考。）